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UC8 系列采用了 Wasco 专有的制造方法和 Elgiloy® 隔膜。它具有超高纯度和无与伦比的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的完美开关,具有高精度和严格的公差。
我们设计了 UC8 系列,用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀环境。UC8 系列的额定使用寿命超过 2,000,000 次 95B2 应用周期。UC8 系列提供符合或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选项。所有开关均经过氦气泄漏测试,泄漏率≤ 1 x 10-9 标准立方厘米/秒,符合 SEMI F1 标准。
典型应用
气体箱
IGS 气体面板
气体分配系统
阀门歧管箱
蚀刻和沉积系统
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