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UC9 系列采用了 Wasco 专有的制造方法和 Elgiloy® 隔膜。它具有超高纯度和无与伦比的耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的完美开关，具有高精度和严格的公差。
我们设计这些开关是为了应对下一代半导体加工设备中高腐蚀性环境。UC9 系列的额定使用寿命超过 2,000,000 次 95B2 应用周期。UC9 系列提供符合或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选项。所有开关均经过氦气泄漏测试，泄漏率≤ 1 x 10-9 标准立方厘米/秒，符合 SEMI F1 标准。
典型应用
气体箱
IGS 气体面板
气体分配系统
阀门歧管箱
蚀刻和沉积系统
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