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Wasco UHP160 系列

UHP160 系列

超高纯度
ISO 5 洁净室组装

自 1989 年以来,行业领先的客户一直依赖 UHP160 系列的可靠性和性能。该系列采用全不锈钢传感器和全焊接结构。UHP160 系列采用了 Wasco 的专有制造方法,消除了所有泄漏路径。该系列是处理腐蚀性介质的完美开关,具有高精度和严格的公差。

我们设计这些开关是为了满足半导体设备等超高纯度应用的需求。UHP160 系列不含任何弹性体或 O 形圈。所有开关均经过氦气泄漏测试,泄漏量≤ 1 x 10-9 标准立方厘米/秒(SEMI F1 标准)。UHP160 系列在 100 级洁净室内制造和包装。

典型应用

气箱
臭氧系统
气体分配系统
半导体设备
医疗设备

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